10ミクロンオーダーの微細欠陥検出と高精度計測を実現／各種電子基板や特殊シートの自動外観検査機のライン導入で高い実績
大判の電子基板、フィルム、特殊シートに対応、ラインカメラ移動型検査機／8K、12Kまたは16Kラインカメラを採用し、高精度検査と計測を実現
お使いの生産設備に組み込みが可能なユニットタイプの検査システム
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